中国科学院半导体研究所等离子体增强化学气相沉积系统采购项目合同公告

项目名称: 中国科学院半导体研究所等离子体增强化学气相沉积系统采购项目合同公告

项目编号: OITC-G260571580

项目地区：北京北京

一、合同编号： BDT-ZC-GDZC2026000043

二、合同名称：等离子体增强化学气相沉积系统采购合同

三、项目编号： OITC-G260571580

四、项目名称：中国科学院半导体研究所等离子体增强化学气相沉积系统采购项目

五、合同主体

采购人（甲方）：中国科学院半导体研究所

地址：北京市海淀区清华东路甲35号

供应商（乙方）：北京北方华创微电子装备有限公司

地址：北京经济技术开发区文昌大道8号

六、合同主要信息

主要标的名称：等离子体增强化学气相沉积系统

规格型号（或服务要求）：Taurus i200PES

主要标的数量：1

主要标的单价：2050000

合同金额：205.000000万元

履约期限、地点等简要信息：4个月，清华东路甲35号

采购方式：公开招标

七、合同签订日期：2026-04-10

八、合同公告日期：2026-06-14

九、其他补充事宜：

附件：

* PECVD合同.PDF

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