项目名称: 中国科学院微电子研究所2026年8月政府采购意向-高真空反应腔真空规自动检测及修正系统详细情况

招标公司: 中国科学院微电子研究所

采购标的物: 高真空反应腔真空规自动检测及修正系统

项目地区：北京 北京

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高真空反应腔真空规自动检测及修正系统

项目所在采购意向： 中国科学院微电子研究所2026年8月政府采购意向

采购单位： 中国科学院微电子研究所

采购项目名称： 高真空反应腔真空规自动检测及修正系统

预算金额： 300.000000万元(人民币)

采购品目：

A02110299其他元件器件参数测量仪

采购需求概况：

a.真空系统及机组：真空规测试范围：1E-5Pa～1E5Pa主测试室密封漏率：≤1E-9Pa·m³/s 真空机组：涡轮分子泵+干泵b.恒温箱:恒温箱温度范围：10～55℃均匀性：±0.5℃c.控制系统：可编程控制器+智能仪表控制工控机+高速数据采集卡，高速、高精度采集测量数据实验数据：标准规、待测规、温度（多点）、标准规（高速）以图表形式显示数据变化趋势d.工作条件：电力供应：三相380V，±10%工作温度：20℃±10℃相对湿度：20～70%e. 系统功能具备设定压力自动调节功能，控制范围 1E10-4 Torr to 1000Torr，控压精度≤5%具备检测流程预设定功能，包括量程、精度、温漂、零漂、稳定性、响应速度等功能；具备检测数据实时记录、制图、计算功能；具备1KHz采样速度；具备0.1Torr~1000Torr的量程控制能力"

预计采购时间： 2026-08

备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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