项目名称: 中国科学院微电子研究所2026年8月政府采购意向-微区电子透射键合系统详细情况

招标公司: 中国科学院微电子研究所

采购标的物: 微区电子透射键合系统

项目地区：北京 北京

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微区电子透射键合系统

项目所在采购意向： 中国科学院微电子研究所2026年8月政府采购意向

采购单位： 中国科学院微电子研究所

采购项目名称： 微区电子透射键合系统

预算金额： 183.000000万元(人民币)

采购品目：

A02059900其他机械设备

采购需求概况：

微区电子透射键合系统(1)加速电压：0-60kV可调，稳定度优于1%；(2)最大功率：6kW；(3)束流调节范围：0-100mA，稳定度优于1%；(4)工作范围：60-300mm；(5)最大热熔深度：18mm；(6)设备可实现3班连续24小时工作；(7)X射线泄漏量：＜1µGy/h；(8)设备具有工艺参数记录和读取功能。在辐照过程中，包括高压、束流、聚焦电流和辐照速度等参数均可以在工艺过程中改变；(9)电源采用高频谐振软开关技术，频率可达35kHz以上，屏幕可实时显示高压电源的工作频率及相关状态；(10)设备采用工控机控制，上位机软件能够实时显示系统状态及相关参数，并能够通过电脑控制整套设备运行；(11)具有电子束扫描功能，（正弦波、三角波、锯齿波等）三种波形以上可选，正弦波等波形频率不低于2kHz；(12)真空室带有附加辅助照明；(13)电子枪口带有附加辅助照明，用于辐照区域观察；(14)光斑直径10mm以下可控；(15)局部定位测温传感器，温度测量范围0℃~1000℃，测温精度±0.1℃。

预计采购时间： 2026-08

备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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