项目名称: 中国科学院微电子研究所2026年8月政府采购意向-12吋SOI晶圆

招标公司: 中国科学院微电子研究所

采购标的物: 石英砂制成品

项目地区：北京 北京

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12吋SOI晶圆

项目所在采购意向： 中国科学院微电子研究所2026年8月政府采购意向

采购单位： 中国科学院微电子研究所

采购项目名称： 12吋SOI晶圆

预算金额： 255.000000万元(人民币)

采购品目：

A07010343PVC石英砂制成品

采购需求概况：

本次拟采购12吋SOI晶圆‌，500片。具体指标要求：顶层硅厚度误差≤±5nm，表面粗糙度<0.15nm，晶格缺陷密度≤0.05个/cm²，电阻率偏差控制在<±10%，埋氧化层厚度片内均匀性<1nm，SOI晶圆总厚度偏差≤2μm,弯曲度、翘曲度均符合12吋晶圆量产级标准，无明显应力集中点。

预计采购时间： 2026-08

备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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