项目名称: 中国科学院微电子研究所2026年8月政府采购意向-12吋硅晶圆

招标公司: 中国科学院微电子研究所

采购标的物: 硅晶圆、石英砂制成品

项目地区：北京 北京

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12吋硅晶圆

项目所在采购意向： 中国科学院微电子研究所2026年8月政府采购意向

采购单位： 中国科学院微电子研究所

采购项目名称： 12吋硅晶圆

预算金额： 114.000000万元(人民币)

采购品目：

A07010343PVC石英砂制成品

采购需求概况：

本次拟采购12吋晶圆 3000片。具体指标要求：硅晶圆的金属杂质总含量控制在ppb级，尺寸（≥0.1μm）的表面颗粒≤10个/片，整片翘曲度控制<30μm，总厚度变化≤2μm，表面平整度适配高精度临时键合工艺要求，无明显边缘崩缺与晶格损伤，可稳定支撑厚度低至20μm的超薄晶圆完成全流程制备。

预计采购时间： 2026-08

备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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