北航刻蚀机，镀膜设备配套工艺气体供气系统采购公告
- 2026-09-03
项目名称: 北航刻蚀机，镀膜设备配套工艺气体供气系统采购公告
招标公司: 北京航空航天大学集成电路科学与工程学院
采购标的物: 刻蚀机镀膜设备配套工艺气体供气系统
项目地区：北京 北京
1. 采购货物有关信息
1、采购货物相关信息：
（ 1）货物名称： 刻蚀机、镀膜设备配套工艺气体供气系统
（ 2）技术指标：
序号
货物 /服务名称
详细参数要求
1
刻蚀机、镀膜设备配套工艺气体供气系统
硬 件和性能 参数
1. 配置给双腔高精度硅和化合物刻蚀、高能量介质刻蚀机、反应离子束刻蚀机、金属刻蚀机设备、原子层沉积设备、自动装载高通量 5英寸管式炉、国产科研型镀膜、氧化退火管式炉、氧化物沉积PVD系统、金属沉积PVD系统、磁性材料沉积PVD系统，二次离子质谱仪（D-SIMS）等设备的 工艺气体的部分供气系统 。
2. CH2F2特气供系统，涉及气体如下：CH2F2；双瓶柜，全自动安全控制，出口三颗阀，相关二次配管。 需要经过第三 方的五项测试安 全质量检测，能够满足半导体产线用工艺气体相应标准。
3. BCL3与CL2/AR特气供气系统，出口七颗阀，scrubber填料，BCL3全套伴热系统。 需要经过第三 方的五项测试安 全质量检测，能够满足半导体产线用工艺气体相应标准。
4. 大流量 O2供气系统，可以满足3用3备，半自动切换，氧气不间断供应 。需要经过第三 方的五项测试安 全质量检测，能够满足半导体产线用工艺气体相应标准。
5. 以上 配置的系统包含管道、阀门、压力表、接口、减压阀， 截止阀 配置的系统需符合半导体工艺气体相应纯度要求。
2
售后服务
售后服务
1、供应商应具备完善的售后服务体系，供应商有固定的维护人员并有能力及时处理所有可能发生的故障。
投标单位投标时必须在投标文件中明确地提供售后服务机构或厂家、地址、电话、联系人等资料。
2、在保质期以内，投标人在接到客户的维修通知对故障能在 4 小时内响应， 24小时内派出有能力的维修人员赶到客户现场进行维修处理（若用户提出新的要求，在招标文件的采购设备清单中特别提出）。
3、在保质期满后，投标人应保证以合理的价格提供备件和保养服务，当发生故障时，投标人应按保质期内同样的要求进行维修处理，合理收取维修费。
4、质保期 1 年。
5、优先考虑具有安全生产许可证、ISO 9001 质量管理体系、知识产权管理体系、省部级及以上工艺企业质量信用 A级及以上等级相关资质的投标人。
（ 3）数量：
序号
产品
数量 /单位
1
刻蚀机、镀膜设备配套工艺气体供气系统
1 套
（ 4）交货期：合同签订后 45 天内
（ 5）交货地点：北京航空航天大学 集成电路科学与工程学院
（ 6）是否接受进口产品：是
2、采购预算（最高限价） ： 45 万
3、参选单位资格要求：
（ 1）在中华人民共和国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人；
（ 2）响应人（供应商）应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
① 具有独立承担民事责任的能力；
② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；
③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；
（ 3）本项目不接受联合体响应；
（ 4）本项目不允许转包、分包；
（ 5）近三年内，本项目响应截止期前，被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府采购网”网站列入政府采购严重违法失信行为记录名单（处罚期限尚未届满的），不得参与本项目；
（ 6）法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。
4、报名方式及截止时间：
报名方式：将报名信息（公司名称、地址、 营业执照扫描件 、销售人员姓名、联系方式等）发送至邮箱 bhsme@ 。截止报名时间 ： 202 5 年 11 月 4 日 17时。
5、竞价会时间及方式：
时间 ： 202 5 年 11 月 5 日； 方式：采取视频会议方式。具体时间和开会方式由学院采购工作领导小组办公室进一步通知。
6、参加竞价会所需提供材料：
11 月 4 日 18:00前， 参选供应商需将正式书面报价单和报名资料（均需加盖单位公章并密封好）邮寄至以下地址：
地址：北京市海淀区北京航空航天大学北区第一馆
常晓阳 老师收，手机号： 查看完整信息
7、采购项目经办人联系方式（采购项目咨询）：
常晓阳 老师，邮箱： c hangxiaoyang@
8、学院采购工作领导小组办公室联系方式（异议或投诉）：
邵老师， bhsme@ 或 查看完整信息（上午9点-11:30；下午14:30-17:00）
窗体底端
