项目名称: 清华大学等离子体增强化学增强气相淀积（PECVD单腔）采购项目合同公告

项目编号: 清采招第20260186号

招标公司: 清华大学

中标公司: 北京北方华创微电子装备有限公司

采购标的物: 等离子体增强化学增强气相淀积、pecvd单腔

项目地区：北京 北京

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一、合同编号： 清采购内贸审202601530

二、合同名称： 清华大学等离子体增强化学增强气相淀积（PECVD单腔）采购合同

三、项目编号： 清采招第20260186号（TC2619056）

四、项目名称： 清华大学等离子体增强化学增强气相淀积（PECVD单腔）采购项目

五、合同主体

采购人（甲方）： 清华大学

地 址： 北京市海淀区清华园1号

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供应商（乙方）：北京北方华创微电子装备有限公司

地 址：北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

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六、合同主要信息

主要标的名称：等离子体增强化学增强气相淀积

规格型号（或服务要求）：详见合同

主要标的数量：1

主要标的单价：2300000.00元

合同金额：230.000000万元

履约期限、地点等简要信息：自本合同生效日期之日起至本合同权利义务履行完毕之日止。清华大学。

采购方式：公开招标

七、合同签订日期：2026-09-09

八、合同公告日期：2026-09-09

九、其他补充事宜：

附件：

* [清采购内贸审202601530]-清华大学等离子体增强化学增强气相淀积（PECVD单腔）采购合同_公示版.pdf

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