项目名称: 中国科学院微电子研究所高介电常数介质原子层沉积工艺设备采购项目合同公告

项目编号: OITC-G260390929

招标公司: 中国科学院微电子研究所

中标公司: 研微（江苏）半导体科技有限公司、研微江苏半导体科技有限公司

采购标的物: 高介电常数介质原子层沉积工艺设备

项目地区：北京 北京

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一、合同编号： PSRXS2026090001

二、合同名称： 高介电常数介质原子层沉积工艺设备

三、项目编号： OITC-G260390929

四、项目名称： 中国科学院微电子研究所高介电常数介质原子层沉积工艺设备采购项目

五、合同主体

采购人（甲方）： 中国科学院微电子研究所

地 址： 北京朝阳区北土城西路3号

联系方式：82995579

供应商（乙方）：研微（江苏）半导体科技有限公司

地 址：无锡经济开发区太湖街道震泽路688号太湖湾信息技术产业园1号楼2201-01

联系方式：查看完整信息

六、合同主要信息

主要标的名称：高介电常数介质原子层沉积工艺设备

规格型号（或服务要求）：Fluxus(1TM+3PM)

主要标的数量：1

主要标的单价：1662万元

合同金额：1662.000000万元

履约期限、地点等简要信息：北京 5月内

采购方式：公开招标

七、合同签订日期：2026-09-11

八、合同公告日期：2026-09-11

九、其他补充事宜：

附件：

* 高介电常数介质原子层沉积工艺设备 合同.pdf

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