杭州市北京航空航天大学国际创新研究院（北京航空航天大学国际创新学院）2026年9月政府采购意向

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项目名称: 杭州市北京航空航天大学国际创新研究院（北京航空航天大学国际创新学院）2026年9月政府采购意向

项目地区：北京北京

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将杭州市北京航空航天大学国际创新研究院（北京航空航天大学国际创新学院）2026年9月采购意向公开如下：

采购单位杭州市北京航空航天大学国际创新研究院（北京航空航天大学国际创新学院）

采购项目名称深反应离子刻蚀系统

预算金额（元） 3700000.00

预留中小企业采购份额否

落实政府采购政策功能情况落实政府采购相关政策

预计采购时间 2026年10月

采购需求概况

标的名称：深反应离子刻蚀系统

数量/单位： 1

预算金额（元）： 3700000.00

采购目录： A02052402真空应用设备

需实现的主要功能或者目标：实现大深宽比的垂直沟槽、通孔及腔体结构高精度刻蚀工艺，深宽比不低于20：1，刻蚀速率不低于3 μm/min，适配8英寸标准硅晶圆及碎片样品。

需满足的质量、服务、安全、时限等要求：产品须满足国家相关标准与技术参数要求。；供应商应结合现场空间开展针对性布局设计与优化，完成产品供货、安装及调试。；（1）系统需提供完备的报警和安全互锁功能。

（2）当互锁被触发时，系统需处于报警状态，并带有声音提示。在安全级别较高的互锁条件或自动模式下触发互锁后，工艺需自动终止。互锁功能在手动模式下需同样生效。

（3）工艺异常后需立即终止工艺，关闭射频电源，关闭全部气路阀门，隔离腔室。

（4）当紧急情况发生时，可以通过EMO回路紧急停止设备，减少人员设备伤害。；合同签订之日起3个月内完成安装。。

联系人曹志强

备注 /

杭州市北京航空航天大学国际创新研究院（北京航空航天大学国际创新学院）

2026年09月24日

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。