项目名称: 杭州市北京航空航天大学国际创新研究院（北京航空航天大学国际创新学院）2026年9月政府采购意向

招标公司: 杭州市北京航空航天大学国际创新研究院

采购标的物: 真空应用设备、低压化学气相沉积系统

项目地区：北京 北京

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为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将 杭州市北京航空航天大学国际创新研究院（北京航空航天大学国际创新学院）2026年9月采购意向公开 如下：

采购单位 杭州市北京航空航天大学国际创新研究院（北京航空航天大学国际创新学院）

采购项目名称 低压化学气相沉积系统

预算金额（元） 1500000.00

预留中小企业采购份额 是

落实政府采购政策功能情况 落实政府采购相关政策

预计采购时间 2026年10月

采购需求概况

标的名称： 低压化学气相沉积系统

数量/单位： 1

预算金额（元）： 1500000.00

采购目录： A02052402真空应用设备

需实现的主要功能或者目标： 实现氮化硅薄膜沉积、氧化硅薄膜沉积及热氧化工艺，要求性能稳定、工艺精度较高，满足半导体相关器件科研样品制备及工艺开发需求，适配8英寸及4英寸晶圆的批量处理。

需满足的质量、服务、安全、时限等要求： 产品须满足国家相关标准与技术参数要求。 ； 供应商应结合现场空间开展针对性布局设计与优化，完成产品供货、安装及调试。 ； 符合相关标准、规范。 ； 合同签订之日起3个月内完成安装。 。

联系人 曹志强

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备注 /

杭州市北京航空航天大学国际创新研究院（北京航空航天大学国际创新学院）

2026年09月24日

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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