项目名称: 离子枪及残余气体分析配套系统（清采比选20261304号）采购公告

项目编号: 清采比选20261304号

招标公司: 清华大学

采购标的物: 残余气体分析仪、离子枪及残余气体分析配套系统、微漏阀

项目地区：北京 北京

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离子枪及残余气体分析配套系统（清采比选20261304号）采购公告

发布时间：2026-09-29 20:07:37 阅读量： 13 次

采购项目名称 离子枪及残余气体分析配套系统 采购项目编号 清采比选20261304号

公告开始时间 2026-09-29 20:07:37 公告截止时间 2026-10-09 21:00:00

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签约时间要求 成交后30个工作日内 (如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果) 交货时间要求 签订合同后30个自然日内

采购单位 清华大学

最高限价 ￥ 200,000.00 未公布

国内合同付款方式 合同签订后50%，到货验收合格后50%

交货地址 北京市清华大学物理楼B303

供应商特殊资质要求

无

采购清单 1

物资名称 采购数量 计量单位

离子枪及残余气体分析配套系统 1 台

品牌 品牌1

型号

品牌2

型号

品牌3

型号

单价 ￥ 200,000.00

技术参数及配置要求 离子枪：安装法兰 CF35；离子能量范围 0.12–5 keV；工作距离 30 mm 时电流密度 >120 μA；最高烘烤温度 250 ℃；工作压力范围 (10^{-5}sim10^{-6}) mbar。

残余气体分析仪：质量范围 1–100 amu；检测极限 (5imes10^{-14}) Torr；支持 RS232 通讯。

微漏阀：腔体侧 CF35、气体侧 CF16；压力调节范围 1 bar–(10^{-11}) Torr；控制泄漏率约 (1.33imes10^{-9}) mbar·L/s。

氩气及洗气气路：包含 CF35 全金属角阀、内抛光波纹管及转接接头；系统漏率 <(1.0imes10^{-11}) mbar·L/s。

质保期

清华大学

2026-09-29 20:07:37

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