项目名称: 北京大学溅射系统

招标公司: 北京大学

采购标的物: 溅射系统、电子工业生产设备

项目地区：北京 北京

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溅射系统

项目所在采购意向： 北京大学2026年12月政府采购意向

采购单位： 北京大学

采购项目名称： 溅射系统

预算金额： 1830.000000万元(人民币)

采购品目：

A02330300电子工业生产设备

采购需求概况：

用于8英寸晶圆各类金属、合金及氧化物、氮化物功能薄膜的高精度溅射沉积，以及深孔、深槽结构的金属薄膜沉积，支撑MEMS传感器、射频器件、磁性存储器件的薄膜制备与微纳结构加工工艺，提升深孔金属化质量、互连可靠性与后续电镀工艺稳定性，支撑TSV、深槽电极及高密度三维互连器件研发。

预计采购时间： 2026-12

备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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