中国科学院微电子研究所原子层沉积系统采购项目合同公告

项目名称: 中国科学院微电子研究所原子层沉积系统采购项目合同公告

项目地区：北京北京

一、合同编号： GPGY-XYD-10

二、合同名称：原子层沉积系统

三、项目编号： OITC-G260390876

四、项目名称：中国科学院微电子研究所原子层沉积系统采购项目

五、合同主体

采购人（甲方）：中国科学院微电子研究所

地址：北京朝阳区北土城西路3号

联系方式：82995579

供应商（乙方）：无锡邑文微电子科技股份有限公司

地址：江苏省无锡市观山路1号

六、合同主要信息

主要标的名称：原子层沉积系统

规格型号（或服务要求）： SINO ALD R200PV

主要标的数量：1

主要标的单价：4280000人民币

合同金额：428.000000万元

履约期限、地点等简要信息：北京 6月内

采购方式：单一来源

七、合同签订日期：2026-10-20

八、合同公告日期：2026-10-20

九、其他补充事宜：

附件：

* 原子层沉积系统合同.pdf

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