项目名称: 低压化学气相沉积系统LPCVD-采购意向

招标公司: 北京大学

采购标的物: 低压化学气相沉积系统LPCVD、电子工业生产设备

项目地区：北京 北京

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低压化学气相沉积系统LPCVD

项目所在采购意向： 北京大学2026年12月政府采购意向

采购单位： 北京大学

采购项目名称： 低压化学气相沉积系统LPCVD

预算金额： 1080.000000万元(人民币)

采购品目：

A02330300电子工业生产设备

采购需求概况：

用于多晶硅、二氧化硅及低应力氮化硅薄膜沉积等关键工艺，支撑MEMS器件结构层、绝缘层、钝化层制备、薄膜应力控制及多品类MEMS器件的研发制备

预计采购时间： 2026-12

备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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