中国科学院微电子研究所高真空反应腔真空规自动检测及修正系统采购项目合同公告

项目名称: 中国科学院微电子研究所高真空反应腔真空规自动检测及修正系统采购项目合同公告

项目编号: OITC-G260392884

项目地区：北京北京

一、合同编号： IME20260927

二、合同名称：高真空反应腔真空规自动检测及修正系统

三、项目编号： OITC-G260392884

四、项目名称：中国科学院微电子研究所高真空反应腔真空规自动检测及修正系统采购项目

五、合同主体

采购人（甲方）：中国科学院微电子研究所

地址：北京朝阳区北土城西路3号

联系方式：82995579

供应商（乙方）：天津华辰实创科技有限公司

地址：天津市滨海新区海顺路120号

联系方式：？查看完整信息？

六、合同主要信息

主要标的名称：高真空反应腔真空规自动检测及修正系统

规格型号（或服务要求）：HC-ZKJD-8

主要标的数量：1

主要标的单价：300万

合同金额：300.000000万元

履约期限、地点等简要信息：北京 8月内

采购方式：单一来源

七、合同签订日期：2026-11-13

八、合同公告日期：2026-11-13

九、其他补充事宜：

附件：

* 高真空反应腔真空规自动检测及修正系统合同.pdf

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