中国科学院微电子研究所2024年9至12月政府采购意向-二维半导体MOCVD设备详细情况

项目名称: 中国科学院微电子研究所2024年9至12月政府采购意向-二维半导体MOCVD设备详细情况

招标公司: 中国科学院微电子研究所

采购标的物: 二维半导体MOCVD设备

项目地区：北京 北京

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二维半导体MOCVD设备

项目所在采购意向： 中国科学院微电子研究所2024年9至12月政府采购意向

采购单位： 中国科学院微电子研究所

采购项目名称： 二维半导体MOCVD设备

预算金额： 2000.000000万元(人民币)

采购品目：

A02330300-电子工业生产设备

采购需求概况：

采购八英寸晶圆级二维材料金属有机化学气相沉积设备1台，具备绝缘衬底上（蓝宝石、二氧化硅）生长 8 英寸晶圆级二维半导体材料（主要是过渡金属硫化物）及其异质结的工艺能力，且尺寸可向下兼容；生长出的材料均匀度 >99%, 缺陷密度 <1*1013 cm-2，单一晶畴取向，可重复性高；设备配备两个腔室淋浴喷头，无腔室前预反应；具备多温区加热和旋转，加热范围 300-1400 摄氏度。目前先导中心没有这类设备，无法满足项目的研制需求，故需要专门配置购置。

预计采购时间： 2024-09

备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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