中国科学院微电子研究所2024年10至12月政府采购意向-光刻工艺仿真平台详细情况

项目名称: 中国科学院微电子研究所2024年10至12月政府采购意向-光刻工艺仿真平台详细情况

招标公司: 中国科学院微电子研究所

采购标的物: 光刻工艺仿真平台

项目地区：北京 北京

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光刻工艺仿真平台

项目所在采购意向： 中国科学院微电子研究所2024年10至12月政府采购意向

采购单位： 中国科学院微电子研究所

采购项目名称： 光刻工艺仿真平台

预算金额： 690.000000万元(人民币)

采购品目：

A08060303-应用软件

采购需求概况：

采购标的名称：光刻工艺仿真平台采购标的需实现的主要功能：光刻工艺分辨率必须依靠计算光刻来保证，拟采购的产品在项目研究中发挥重要作用，主要包括对现有半导体制造工艺使用配套的先进的分辨率增强技术，对光刻工艺进行仿真、验证和优化等功能。 采购标的数量：1套采购标的需满足的质量：平台能对OPC修正后的版图进行仿真验证，质量要求满足现有使用标准。还应包含以下调试培训服务： 1平台的安装和调试 安装版本为公司能提供的平台版本的最新稳定版本，或在告知并得到同意的情况下，合作的开发版本 2培训平台成功启动后，提供示例项目，演示平台功能，并开展软件使用的培训。

预计采购时间： 2024-10

备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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