中国科学院微电子研究所2024年10至12月政府采购意向-光刻工艺仿真平台详细情况
- 2024-07-26
项目名称: 中国科学院微电子研究所2024年10至12月政府采购意向-光刻工艺仿真平台详细情况
招标公司: 中国科学院微电子研究所
采购标的物: 光刻工艺仿真平台
项目地区:北京 北京
光刻工艺仿真平台
项目所在采购意向: 中国科学院微电子研究所2024年10至12月政府采购意向
采购单位: 中国科学院微电子研究所
采购项目名称: 光刻工艺仿真平台
预算金额: 690.000000万元(人民币)
采购品目:
A08060303-应用软件
采购需求概况:
采购标的名称:光刻工艺仿真平台采购标的需实现的主要功能:光刻工艺分辨率必须依靠计算光刻来保证,拟采购的产品在项目研究中发挥重要作用,主要包括对现有半导体制造工艺使用配套的先进的分辨率增强技术,对光刻工艺进行仿真、验证和优化等功能。 采购标的数量:1套采购标的需满足的质量:平台能对OPC修正后的版图进行仿真验证,质量要求满足现有使用标准。还应包含以下调试培训服务: 1平台的安装和调试 安装版本为公司能提供的平台版本的最新稳定版本,或在告知并得到同意的情况下,合作的开发版本 2培训平台成功启动后,提供示例项目,演示平台功能,并开展软件使用的培训。
预计采购时间: 2024-10
备注:
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。