中国科学院微电子研究所2024年10至12月政府采购意向-团簇等离子体抛光设备详细情况

项目名称: 中国科学院微电子研究所2024年10至12月政府采购意向-团簇等离子体抛光设备详细情况

招标公司: 中国科学院微电子研究所

采购标的物: 团簇等离子体抛光设备

项目地区：北京 北京

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团簇等离子体抛光设备

项目所在采购意向： 中国科学院微电子研究所2024年10至12月政府采购意向

采购单位： 中国科学院微电子研究所

采购项目名称： 团簇等离子体抛光设备

预算金额： 365.000000万元(人民币)

采购品目：

A02330300-电子工业生产设备

采购需求概况：

对SiC外延片表面进行精细抛光，可以降低外延层表面粗糙度，获得高质量SiC外延层，降低器件表面缺陷，从而有效提高栅氧化层质量，同时能够降低器件表面载流子散射，提高器件沟道迁移率，从而实现高质量、高可靠性的SiC MOSFET器件 。

预计采购时间： 2024-10

备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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