中国科学院微电子研究所2024年10至12月政府采购意向-团簇等离子体抛光设备详细情况
- 2024-07-26
项目名称: 中国科学院微电子研究所2024年10至12月政府采购意向-团簇等离子体抛光设备详细情况
招标公司: 中国科学院微电子研究所
采购标的物: 团簇等离子体抛光设备
项目地区:北京 北京
团簇等离子体抛光设备
项目所在采购意向: 中国科学院微电子研究所2024年10至12月政府采购意向
采购单位: 中国科学院微电子研究所
采购项目名称: 团簇等离子体抛光设备
预算金额: 365.000000万元(人民币)
采购品目:
A02330300-电子工业生产设备
采购需求概况:
对SiC外延片表面进行精细抛光,可以降低外延层表面粗糙度,获得高质量SiC外延层,降低器件表面缺陷,从而有效提高栅氧化层质量,同时能够降低器件表面载流子散射,提高器件沟道迁移率,从而实现高质量、高可靠性的SiC MOSFET器件 。
预计采购时间: 2024-10
备注:
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。