亚纳米器件关键薄膜原子层沉积设备(清采比选20240689号)采购公告
- 2024-07-27
项目名称: 亚纳米器件关键薄膜原子层沉积设备(清采比选20240689号)采购公告
项目编号: 清采比选20240689号
采购标的物: 亚纳米器件关键薄膜原子层沉积设备
项目地区:北京 北京
项目名称:亚纳米器件关键薄膜原子层沉积设备
项目编号:清采比选20240689号
公告开始日期:2024-07-27 10:51:37
公告截止日期:2024-07-30 11:00:00
付款方式:合同签订后50%,到货后40%,验收合格后10%
签约时间要求:成交后10个工作日内
到货时间要求:签订合同后20个工作日内
预算总价:True
收货地址:北京市清华大学
采购商品:亚纳米器件关键薄膜原子层沉积设备
采购数量:1
计量单位:台
技术参数及配置要求:1. 适用于8英寸以及小尺寸样品相关薄膜沉积,8英寸样品不均匀性≤3%;2. 设备本底真空优于3 Pa,泄露率低;3. 样品台加热温度最高可达400℃;4. 能够基于臭氧基或水基生长HfO2等类型高k值介质作为绝缘薄膜,击穿场强>0.8V/nm;5. 能够基于臭氧基或水基生长In2O3等类型金属氧化物半导体薄膜。