亚纳米器件关键薄膜原子层沉积设备（清采比选20240689号）采购公告

项目名称: 亚纳米器件关键薄膜原子层沉积设备（清采比选20240689号）采购公告

项目编号: 清采比选20240689号

采购标的物: 亚纳米器件关键薄膜原子层沉积设备

项目地区：北京 北京

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项目名称：亚纳米器件关键薄膜原子层沉积设备

项目编号：清采比选20240689号

公告开始日期：2024-07-27 10:51:37

公告截止日期：2024-07-30 11:00:00

付款方式：合同签订后50%，到货后40%，验收合格后10%

签约时间要求：成交后10个工作日内

到货时间要求：签订合同后20个工作日内

预算总价：True

收货地址：北京市清华大学

采购商品：亚纳米器件关键薄膜原子层沉积设备

采购数量：1

计量单位：台

技术参数及配置要求：1. 适用于8英寸以及小尺寸样品相关薄膜沉积，8英寸样品不均匀性≤3%；2. 设备本底真空优于3 Pa，泄露率低；3. 样品台加热温度最高可达400℃；4. 能够基于臭氧基或水基生长HfO2等类型高k值介质作为绝缘薄膜，击穿场强>0.8V/nm；5. 能够基于臭氧基或水基生长In2O3等类型金属氧化物半导体薄膜。

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