中国科学院高能物理研究所2025年10月政府采购意向-超导金属磁控溅射，电阻金属磁控溅射

项目名称: 中国科学院高能物理研究所2025年10月政府采购意向-超导金属磁控溅射，电阻金属磁控溅射

招标公司: 中国科学院高能物理研究所

采购标的物: 电阻金属磁控溅射超导金属磁控溅射、三腔室镀膜、双腔室镀膜机

项目地区：北京 北京

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超导金属磁控溅射、电阻金属磁控溅射

项目所在采购意向： 中国科学院高能物理研究所2025年10月政府采购意向

采购单位： 中国科学院高能物理研究所

采购项目名称： 超导金属磁控溅射、电阻金属磁控溅射

预算金额： 460.000000万元(人民币)

采购品目：

A02339900

采购需求概况：

分别采购一台三腔室镀膜和双腔室镀膜机，其中三腔室镀膜机用于磁控溅射制备超导探测器的金属Nb和Al薄膜，主腔室8寸靶枪，6英寸不均匀度≤3%，loadlock腔带离子刻蚀以及静态氧化功能样品座具备无氧铜冷却功能，副腔室6英寸不均匀度≤5%；双腔室镀膜机用于电阻金属溅射沉积，loadlock腔带离子束刻蚀以及无氧铜冷却功能，镀膜4英寸不均匀度≤5%。

预计采购时间： 2025-10

备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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