中国科学院物理研究所2026年2月政府采购意向-真空腔及真空器件（2026预算291-DG）

项目名称: 中国科学院物理研究所2026年2月政府采购意向-真空腔及真空器件（2026预算291-DG）

招标公司: 中国科学院物理研究所

采购标的物: 真空腔及真空器件

项目地区：北京 北京

免费查看原文

真空腔及真空器件（2026预算291-DG）

项目所在采购意向： 中国科学院物理研究所2026年2月政府采购意向

采购单位： 中国科学院物理研究所

采购项目名称： 真空腔及真空器件（2026预算291-DG）

预算金额： 100.000000万元(人民币)

采购品目：

A02100699-其他试验仪器及装置

采购需求概况：

我所即将在东莞松山湖建设‘先进阿秒激光设施’,其中依托高功率极紫外高次谐波束线建设的先进激光制备加工和诊断终端需要束线提供的极紫外光源做加工样品的相干衍射成像检测和极紫外瞬态吸收光谱测量，极紫外相干衍射成像（EUV CDI）的核心优势在于利用极紫外光与原子内层电子的相互作用，在纳米尺度能实现高分辨率、高化学敏感性的无透镜计算成像，其理论分辨率可达10nm以下，能直接观测加工样品的纳米结构，非常适合半导体芯片纳米缺陷的无损检测、新材料（如二维材料、催化剂）的界面与化学成分分析，以及未染色生物样品（如细胞器、病毒）的高分辨率成像。然而，由于极紫外光的光子能量极高，会与几乎所有物质（尤其是空气中的气体分子）发生强烈的相互作用，从而被迅速吸收或散射掉，因此极紫外光之所以只能限制在真空中传播。目前我所并没有能满足要求的产品，因此需要购置该设备。

预计采购时间： 2026-02

备注：

2026预算291-DG

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

免费查看最新招中标公告