燕东股份高压大功率芯片生产能力提升项目栅氧化炉设备采购中标结果公告(1)
- 2026-05-13
项目名称: 燕东股份高压大功率芯片生产能力提升项目栅氧化炉设备采购中标结果公告(1)
项目编号: 1289-264026ZB0317
招标公司: 北京燕东微电子股份有限公司
中标公司: 北京北方华创微电子装备有限公司
采购标的物: 栅氧化炉设备
项目地区：北京 北京
【中国国际招标网】
项目名称：燕东股份高压大功率芯片生产能力提升项目栅氧化炉设备采购
招标项目编号：1289-264026ZB0317
招标范围：编号设备名称数量简要技术说明1栅氧化炉设备1台用于第三代半导体 SiC 晶圆的干氧、湿氧、一氧化氮退火等高温热处理工艺使用，适用于 4、6 吋碳化硅片，最高工艺温度 1350℃，配有自动装片装置，具有 Cassette to Cassette 装片功能。
招标机构：华采招标集团有限公司
招标人：北京燕东微电子股份有限公司
开标时间：2026-05-07 10:00
公示时间：2026-05-08 13:03 - 2026-05-12 23:59
中标结果公告时间：2026-05-13 09:15
中标人：北京北方华创微电子装备有限公司
制造商：北京北方华创微电子装备有限公司
制造商国家或地区：中国
